设备配置明细表配1套工件转架,工件转架采用公转与自转方式,自转轴4轴;配1套变频机可无极调整;工件旋转电机可正向、反向旋转。
设备使用说明书:1份;主要配件说明书:1份;电气图:1份;大门密封圈:2件;设备易损阀门密封件:2套;设备易损加工绝缘件:2套;电阻规、电离规各2个;观察窗玻璃片:2件;镀膜机常用工具:1套。
腔内径:ф700*H700;高品质304不锈钢材质外加强筋加固;腔体底座使用方钢制作;腔体抽气口与真空抽气泵配套且安装过滤窗,内侧衬板方便拆卸与更换;腔体门上设计观察窗并配遮挡板。
FF-250/2500涡轮分子泵1台,品牌:北京中科科仪抽气速度≥2500L/S;罗茨泵1台品牌:四川华新南光,抽气速度≧150L/S;粗抽泵1台(直连泵),品牌:宁波鲍斯,抽气速度≧90m³/H;维持泵(直连泵):1台,品牌:宁波鲍斯抽气速度:≧30m³/H;不锈钢线套,连接处不锈钢波纹管;每台抽气泵备真空阀门,阀门为气动挡板阀,电控控制,铝合金气缸。
标准电控柜1个,主要电气元件使用施耐德品牌;全自动控制系统12寸彩色触摸屏,日本三菱PLC;采用过流、过载半岛·体育中国官方网站平台登陆、过热保护同时配缺水、缺气报警等保护功能;实现真空阀门自锁、互锁等安全保护;PLC可记录设备的详细工作过程和故障报警功能可实习镀膜工艺存储并调用。
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